書泉と、10冊

二次イオン質量分析法 第2版

特典
ISBN/JAN
9784621311356
著者
公益社団法人 日本表面真空学会
出版社
丸善出版
レーベル
出版日
2025/06/03
商品説明
1 二次イオン質量分析法(SIMS)とは何か
 1.1 なぜSIMSで表面分析ができるのか
 1.2 なぜSIMSで深さ方向分析ができるのか
 1.3 なぜSIMSでイメージングができるのか
 1.4 SIMSの歴史
 1.5 SIMSで分析できる試料

2  SIMSの原理
 2.1 スパッタリング収率
  2.1.1 スパッタリング過程
  2.1.2 現象のシミュレーション
  2.1.3 スパッタリング収率
 2.2 二次イオン化率 と二次イオン収率
  2.2.1 二次イオン化率
  2.2.2 二次イオン収率
  2.2.3 二次イオンの発生過程
  2.2.4 ユースフルイールド
 2.3 マトリックス効果
  2.3.1 マトリックス効果の基礎
  2.3.2 D-SIMSにおけるマトリックス効果の実際とその抑制例
  2.3.3 S-SIMSにおけるマトリックス効果の実際とその抑制例

3 SIMS装置の基礎
 3.1 装置の概略
 3.2 一次イオン照射系
  3.2.1 イオン源
 3.3 ガスクラスターイオンビーム(GCIB)
  3.3.1 クラスターの種類とガスクラスター
  3.3.2 ガスクラスターの生成とイオン化
  3.3.3 クラスターサイズ分布と照射効果
  3.3.4 GCIB-SIMS装置
  3.3.5 GCIB-SIMSの特徴
 3.4 二次イオン質量分析計
  3.4.1 二重収束型質量分析計
  3.4.2 四重極型質量分析計
  3.4.3 飛行時間型質量分析計
  3.4.4 MS/MSを搭載した飛行時間型質量分析計
 3.5 高空間分解能SIMS
  3.5.1 深さ方向分解能
  3.5.2 面分解能
  3.5.3 走査型イメージング
  3.5.4 投影型イメージング

4 SIMSによる測定の実際
 4.1 試料の準備
  4.1.1 試料の保存・輸送
  4.1.2 試料表面のクリーニング
  4.1.3 特殊な試料の準備
 4.2 無機物の定性分析
  4.2.1 D−SIMSとS−SIMS
  4.2.2 質量のキャリブレーション
  4.2.3 有機物と無機物の分類
  4.2.4 同位体を考慮した質量スペクトルの帰属
  4.2.5 イオンスパッタによる表面のクリーニング
  4.2.6 定性分析の例
 4.3 有機物の定性分析
  4.3.1 S-SIMSによる有機成分定性分析
  4.3.2 ToF-SIMS高質量分解能測定での有機成分の定性分析
  4.3.3 ToF-SIMS装置オプション開発の有機成分の定性への寄与
 4.4 定量分析
  4.4.1 D-SIMSによる不純物の定量分析
  4.4.2 S-SIMSによる二元有機混合物の定量分析
 4.5 深さ方向分析
  4.5.1 分析目的の確認
  4.5.2 分析装置の選択
  4.5.3 分析条件の選択
  4.5.4 バックサイドSIMS
 4.6 二次元・三次元イメージング
  4.6.1 二次イオンイメージングの概要
  4.6.2 ToF-SIMSによるイメージング事例
  4.6.3 NanoSIMSによるイメージング事例

5 SIMSの応用・発展
 5.1 無機物・金属・半導体の測定および元素分析
  5.1.1 同位体顕微鏡
  5.1.2 窒化物半導体中の不純物分析例
  5.1.3 無機材料の極浅領域分析,極薄膜分析,断面分析
  5.1.4 深さ分解能の良いSi半導体試料測定技術
  5.1.5 鉄鋼材料分析への応用
 5.2 有機物・高分子の測定
  5.2.1 材料中の有機微量成分の分析
  5.2.2 有機工業材料の測定
  5.2.3 高分子分析への応用
  5.2.4 有機無機複合材料のSIMS/FIB-SIMSによる分析
  5.2.5 高分子材料のMS/MSによる分析
 5.3 生体試料の測定
  5.3.1 生物試料の分析
  5.3.2 植物中の天然高分子および可動性成分の可視化
 5.4 発展的手法
  5.4.1 レーザーSNMSの原理
  5.4.2 レーザーSNMSの発展と適用例
  5.4.3 分子クラスターイオン
  5.4.4 液滴イオンビームによるSIMSの試み
  5.4.5 元素および分子選択型イオンビームの検討
  5.4.6 解離性イオン散乱を用いた試料表面の機械特性評価
  5.4.7 SIMSデータへの機械学習の応用

おわりに:これからのSIMS

索引
備考
型番 9784621311356-011
販売価格 4,400円(税400円)
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